楊杰提前把沉🏍浸式光刻技讓瑞星科技公司研發(fā)出來就是為了為了解決國內(nèi)現(xiàn)階段在半導(dǎo)體技術(shù)整體不足的情況。
現(xiàn)階段瑞星科技公🌺🔉司自工件臺上的運動精度只能控制在4納米，制造出來的光刻機(jī)只能保證極限制程工藝維持在90納米的，而三陽光學(xué)公司自己現(xiàn)在制造出來的鏡片光學(xué)數(shù)值孔徑只能達(dá)到🎻0.5，距離G國蔡司制造出來的鏡組0.7還是有不小的距離。
不過今年上半年機(jī)床研究院的🔥😋🚬超高精度設(shè)備研發(fā)部門會推出超高精度的數(shù)控磨🤦床，到明年初三🙏✅陽光學(xué)公司應(yīng)該能生產(chǎn)出更高數(shù)值孔徑的鏡組出來。
瑞星科技公司在光刻機(jī)跟刻蝕機(jī)的設(shè)計跟系統(tǒng)整合方面這些年已經(jīng)逐步成熟了，這🏏📘讓楊杰➡🔴有信心在明年就可以大批量的生產(chǎn)出沉浸式光刻機(jī)出來，到時候可以大幅地降低國內(nèi)晶圓廠的建設(shè)成本。
現(xiàn)在艾斯摩爾公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻機(jī)一套要賣到兩千萬到五千萬美金之間，一座晶圓廠至少需要3到4臺，瑞星科技公司到現(xiàn)在已經(jīng)在國內(nèi)賣出去了三十多臺，在這個上面賺了差不多5億多美金，光刻機(jī)反倒是賣得最📡🆙多，總共賣出去了六百多臺，每臺售價在一百八十萬美金，差不多賺了十多億美🏘🥋金，現(xiàn)在國外很多公司也是向♍瑞星科技公司開始下訂單采購刻蝕機(jī)。
其實🚪📒從前年開始，瑞星科技公司就開始99下半年年就開始🕙🏩👟實現(xiàn)了盈利，楊杰這幾年總共向瑞星科技公司投入了接近二十多億美金，現(xiàn)在終于是見到了成效。
現(xiàn)🕯🔝在瑞星科技公司的研發(fā)人員超過了三千多人，并且積極地跟國內(nèi)外的公司合作。
楊杰利用跟自己跟軍方良好的關(guān)系，將光刻機(jī)的10個分系統(tǒng)、數(shù)萬📢🗽個機(jī)械件件、100多個傳感器分包給了給了國內(nèi)的上千家研究所和數(shù)百家軍工企業(yè)來完成。
瑞星科技公司則🚕⛄🚏是負(fù)責(zé)這些系統(tǒng)的整合和檢測驗收，自己主💺🚻🌰要的精力集中在幾個核心系統(tǒng)的研發(fā)。
軍方高層對此非常重視，更關(guān)鍵的是瑞星科技公司定制的這些系統(tǒng)雖然要求極為嚴(yán)苛，但是給🍵的訂金十分豐厚，去年一年交付產(chǎn)品從瑞星科技公司拿到的款項🌼➖👗就達(dá)到了五十多億。
既然這么賺錢，軍方自然是十分舍得下本錢，🕵🎱🙄前年就把所有的生產(chǎn)設(shè)備全都更新了一遍，很多設(shè)備還是從機(jī)床研究院定制的，并且加🏇大了研發(fā)投入。
現(xiàn)在瑞星科技公司產(chǎn)品線分為PAS系列和XT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，這種機(jī)型使用🤟了瑞星科技公司自己設(shè)計生產(chǎn)的鏡組，鏡頭是三陽光學(xué)公司生產(chǎn)提供的，也采用了步進(jìn)掃描沉浸式技術(shù)，因為使用了沉浸式技術(shù)，這種波長在365納米的光源原本極限制程只能達(dá)到0.25微米，但是現(xiàn)在可以提升到了120納米，而且價格只有一千美金！
現(xiàn)在市場上尼康、佳能、艾斯摩爾三家主力都♌🤑是以氟化氪激光光源為主，極限制程工藝在130納米，高端的機(jī)型是以氟化氬激光光源的光刻機(jī)，極限制程工藝🖱在65納米。
現(xiàn)在♌🔗瑞星科技公司氟化🌔氪激光光源光刻機(jī)極限制程工藝可以達(dá)到90納米，這還是因為工件臺的進(jìn)度不夠?qū)е碌?，如果能把工件臺的運動精度控制在2納米，那么制程工藝可以達(dá)到70納米左右🕉💼🕶！
瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技術(shù)后簡直像是一頭野蠻的公牛闖進(jìn)了瓷器店一般，將這個原本只有三家瓜分的🌇光刻機(jī)市場是攪得天翻地覆！
去年十月份瑞星科技公司推出的PAS系列🚙🛠🛡機(jī)型銷售情況十分好，到現(xiàn)在總共是賣出去了五十多臺，而且差不多有一大半是海外的客戶，而采⏳✌用氟化氪激光光源的XT系列也是賣出去了三臺。
倒不是瑞星科技公司😻不想賣，而是G國蔡司提供的鏡組就只有十幾套，剩下的都要留給中晶微和華🥗🏥⏬越電子公司以及華晶集團(tuán)，實在是沒貨了。
不🗝🎍🎭過P❄AS系列的機(jī)型因為產(chǎn)能供得上，不過瑞星科技公司現(xiàn)在產(chǎn)能也是很吃緊——人手不夠了🚜🌭💐。
在得知這個消息后，李開元也是格外高興，“提出沉浸式光刻機(jī)技術(shù)是你提出來的方案吧，之前幾年瑞星科技公司都是不聲不響的，現(xiàn)在技術(shù)成熟后馬上就推出了先進(jìn)的產(chǎn)品，可以說是徹底地把這個市⭕場格局給🕥🚬改變了，這證明科技創(chuàng)新才是最重要的。”
“是呀，現(xiàn)在瑞星科技公司掌握了光刻機(jī)的核心技術(shù)，國外對我們在半導(dǎo)體🚴產(chǎn)業(yè)的限制是越來越少了?！瘪R秋林笑著說道。
“比起淡馬錫⛄🕝集團(tuán)公司的來訪，這⏩🏥✴個消息意義就更為重大了?！崩铋_元點頭💻🏂道。
“這次中晶微公司收購了特許半導(dǎo)體的兩家晶圓廠😽，還要和特許半導(dǎo)體再合資興建一座十二寸的晶圓廠，這些晶圓👴🌪🥐廠的產(chǎn)能主要是用來生產(chǎn)什么類型的芯片？”
孫世聰問道。
“主要是用來生產(chǎn)🐦🆖手機(jī)🎆相機(jī)需要的圖像傳感器跟控制芯片?！?br/>
楊杰也是將自己💖的計⛳🍱劃向🛂✖省里的這些領(lǐng)導(dǎo)作出了詳細(xì)的說明。
“因為圖像傳感器👑🎽🗨是一個用途非常廣泛的技術(shù)產(chǎn)品，我們公司把圖像傳感器當(dāng)成了今后最重要的一個核心業(yè)務(wù)，尤其是在手機(jī)相機(jī)模塊里面使用的圖像傳感器，這是以后圖像傳感器最大的一個細(xì)分市場之一?！?br/>
“根據(jù)我們公司對手機(jī)市場做出的調(diào)查，預(yù)計十年之后全球手機(jī)產(chǎn)銷量達(dá)到17億部，而拍照功能會成為手機(jī)最重要的功能之一🗂💽⏩，光是這么一款產(chǎn)品的對圖像傳感器的需求量就能達(dá)到十多億顆，這需要至少二十多座八英寸的晶圓廠，十二寸的晶圓廠也需要數(shù)座以上。”
“雖然說隨著制程工藝的進(jìn)步，圖像傳感器可以做🍿💉得越來越小，不過圖像傳感器需要足夠的進(jìn)🔳🌼🍶🔔光量，芯片尺寸也不會縮小得太多，更多的是提升圖像質(zhì)量?！?br/>
楊杰說道笑著說道：“所以說我收購特許半導(dǎo)體公司的兩座晶圓廠只能說是剛剛滿足現(xiàn)在我們公司接下來推出相機(jī)模👒🖥🤯塊的需要而已，接下來的幾年相機(jī)模塊會有一個爆發(fā)性的增長，我是希望國內(nèi)能再上🎴📴👧幾座晶圓廠，盡可能地把產(chǎn)能留在國內(nèi)。”
“楊少，你們在圖像傳感器上這幾年下🗃🚚了非常大的功夫呀！”馬秋林感慨地說道。
“我們還是要加大研發(fā)力度，MI國有30多家公司進(jìn)行這方面的研發(fā)，歐洲也有7家公司，RI國方面也有8家，臺灣也有8家，南韓也有1家，國內(nèi)現(xiàn)在只有我們?nèi)A興集團(tuán)公司，這😹🔧些公司在圖像傳🍰感器上都非常有實力，我們公司只🐚🏦能硬著頭皮不停地投入研發(fā)進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，盡可能快的搶占手機(jī)相機(jī)模塊整個市場?！?br/>
楊杰說道：“今后我們公司在圖像傳感器的研發(fā)方向主要是分為幾個方向，第一個🏀就是在🐏👌🏴單像素尺寸的工藝上想🎎🆙辦法，盡力地縮小單個像素的尺寸，在同樣尺寸下，讓分辨率可以做得更大，現(xiàn)在我們已經(jīng)能把單個像素尺寸做到2.5微米，今年會推出一百萬像素的拍照手機(jī)?！?br/>
“第二個就是🤲🦂👴圖像傳感器的低照度，我希望我們公司生產(chǎn)的圖像傳感器以后低照度拍攝水平在不斷地提升，達(dá)到甚至超越了CCD的低照度拍攝水平，這樣以后手機(jī)相機(jī)可以在弱光環(huán)境下也能拍出很好照片出來?！?br/>
“另外就是圖像傳感器要具備拍攝高清視頻的需要，能夠達(dá)到每秒三十幀甚至每秒六十幀的視頻播放視覺需求，更高的幀速需要圖像傳感器🚬🌞和高速讀出電路的支持，這也是我們需要不斷改進(jìn)的地😷🏢🙂方?！?br/>
“還有就是在圖像傳感器靈敏度和信噪比方面也需要不😜🐰斷地改進(jìn)，🕍🍶因為他們決定了畫質(zhì)?！?br/>